管式退火炉/滑动管式炉

滑动快冷管式炉的简介

滑动快冷管式炉，也叫做滑道管式炉、滑轨式管式炉、RTP快速退火炉(RTP红外灯管加热管式炉)、炉膛可移动式管式炉，它是一种新型的加热电炉设备，可在真空、气氛环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

可配真空炉，即真空管式退火炉！如下图：

真空管式退火炉

滑动快冷管式炉采用滑动快冷技术，具有快速冷却的特点，能够在高温实验过程中快速冷却样品，为实验提供更加准确的实验数据和更好的实验效果。

滑动快冷管式炉的应用领域

可在真空不同气氛空气不同环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：气氛还原、cvd薄膜沉积，真空退火等等！

滑动快冷管式炉的组成结构

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

(1).双层钢结构，带冷却风扇。

(2).炉底装有一对滑轨，可以手动左右移动炉子。

(3).安装真空法兰和机械压力表，可立即使用。

滑动快冷管式炉主要由以下几个部分组成：

炉管：

炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料，具有高强度、耐高温、耐腐蚀等特点，能够承受高温和高压。

滑动快热、快冷系统：

为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的炉子。

抽真空系统：

包括真空泵和真空测量系统，用于抽真空和保持高真空度。

控制系统：

可选择单设定点或30段可编程控制器。精度为 ±1°C°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高;