氮化铝陶瓷基板烧结炉

设备介绍

氮化铝烧结炉(卧式)主要用于半导体领域的氮化铝陶瓷胚体和制品的气氛烧结、真空烧结.

应用范围：

载盘、导轨和工件台、机械臂、静电吸盘、透明陶瓷、靶材等、高导热基板、加热器、结构件.

结构特点：

1、采用特殊的炉胆结构和加热器布置，炉温均匀性好；

2、全密闭马弗，密封效果好，抗污染能力强；

3、可具备真空烧结、负压脱脂烧结、载气脱脂烧结等功能；

4、可选配脱脂系统，实现陶瓷制品的脱脂烧结一次性处理；

5、适于工艺气氛：N2/Ar/H2.

氮化铝烧结炉设备工厂实景